中國已經(jīng)成為IC廠商圓夢的熱土，2004年中國集成電路產(chǎn)量達到211億塊，銷售額達到545.3億元，比2003年增長55.2%，成為全球集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快的地區(qū)之一。而作為IC產(chǎn)業(yè)支撐的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)也將隨之水漲船高，有業(yè)內(nèi)人士預(yù)測，未來10年內(nèi)我國半導(dǎo)體設(shè)備市場將超過200億美元。 


　　國產(chǎn)設(shè)備：在期盼中成長 

　　中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的資料顯示，2004年我國半導(dǎo)體專用設(shè)備行業(yè)(不包括國外廠商在國內(nèi)設(shè)廠組裝的企業(yè))的銷售額為4.23億元，比2003年增長了67%。而據(jù)SEMI(中國)最新報道，2004年中國在半導(dǎo)體設(shè)備方面的投資為全球的8%，即28億美元。兩個數(shù)字放在一起，令人觸目驚心。 

　　業(yè)內(nèi)人士告訴記者，經(jīng)過多年的發(fā)展，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)已經(jīng)取得了很不錯的成績：在半導(dǎo)體前道工序用擴散爐、快速熱處理設(shè)備，清洗機、勻膠顯影設(shè)備等；后道工序中的劃片機、塑封機、部分模具等；材料制備設(shè)備中的單晶爐、研磨機、拋光機，部分凈化設(shè)備和試驗設(shè)備，其中一些國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)日漸成熟，并且已經(jīng)有設(shè)備被用到國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線中。 

　　盡管如此，國產(chǎn)設(shè)備進入國內(nèi)大生產(chǎn)線仍然很難，因為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展太快，設(shè)備還沒用舊，產(chǎn)品就更新?lián)Q代了，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)跟不上市場變換的節(jié)奏，因此集成電路生產(chǎn)線幾乎被國外廠商的產(chǎn)品壟斷。為此，七星華創(chuàng)微電子設(shè)備公司副總經(jīng)理盛金龍呼吁，國內(nèi)的集成電路大生產(chǎn)線要用國內(nèi)的設(shè)備，給國內(nèi)設(shè)備企業(yè)一些機會。當(dāng)然，前提是要加強國內(nèi)各設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的開發(fā)能力，不斷開發(fā)新工藝設(shè)備，以滿足生產(chǎn)線的需要。 

　　在采訪過程中，很多業(yè)內(nèi)人士都提出，國家應(yīng)該在政策、資金、關(guān)稅等方面對國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)有所傾斜：系統(tǒng)研究振興我國半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)的有關(guān)政策；鼓勵國內(nèi)裝備制造企業(yè)、專用裝備用戶企業(yè)和資金進入半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)；在稅收上應(yīng)給予和國外進口設(shè)備同樣的條件，如進口設(shè)備免關(guān)稅，那么國產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)所用零部件進口也應(yīng)實行零關(guān)稅。 

　　國外廠商：中國市場收獲忙 

　　中國半導(dǎo)體市場良好的發(fā)展態(tài)勢，對全球半導(dǎo)體業(yè)有著重要的作用和貢獻，國外半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)廠商忙著在中國市場布局也就不足為奇了。有關(guān)市場調(diào)研公司的分析報告顯示，2004年中國市場半導(dǎo)體制造設(shè)備采購額大增了146%。 

　　近年來，中國半導(dǎo)體市場對高端設(shè)備和先進技術(shù)的需求逐漸增長，這一特點在2004年表現(xiàn)尤為突出。作為東京精密(Accretech)本地化公司，東精精密設(shè)備(上海)有限公司副總經(jīng)理周雅萍認為，國際上知名的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠陸續(xù)在中國建立生產(chǎn)基地，加速了國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)制作技術(shù)的提升，中國客戶對半導(dǎo)體設(shè)備的需求也發(fā)生了很大變化。周雅萍說：“在幾年前，客戶要求價格便宜工藝簡單的設(shè)備，通?？蛻舾信d趣的設(shè)備為東京精密生產(chǎn)的低端產(chǎn)品。隨著國內(nèi)客戶半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝水平的提升，國內(nèi)客戶對先進的生產(chǎn)設(shè)備需求不斷增加。” 

　　對于先進技術(shù)，中國市場與歐美市場的需求是相同的。對此諾發(fā)(Novellus)公司亞太區(qū)運營高級副總裁Chen Fusen認為，為了迎接IC制造方面的挑戰(zhàn)，設(shè)備制造商需要擴展其現(xiàn)有設(shè)備的生產(chǎn)能力和設(shè)備的使用壽命，假如沒有出眾的技術(shù)，要在一兩個制造節(jié)點的平臺可延伸性方面領(lǐng)先通常是不可能的。他說：“在美國和歐洲那些成熟的市場的確是這樣，在中國這樣新出現(xiàn)的市場也不例外。在去年12月，Novellus把第一臺SABRE300mm銅電鍍設(shè)備裝運到一家領(lǐng)先的中國代工廠。” 

　　此外，國外廠商針對中國市場的合作與服務(wù)也逐漸加強。去年3月，美國AVIZA公司宣布與我國最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商七星華創(chuàng)合作，在中國當(dāng)?shù)厣a(chǎn)AVIZA的熱處理設(shè)備和淀積系統(tǒng)。 

　　面對國內(nèi)市場對半導(dǎo)體設(shè)備要求的變化，Accretech公司也將適時轉(zhuǎn)變公司的營銷策略。周雅萍介紹說，今年Accretech的工作重點主要是提高產(chǎn)品的售后服務(wù)質(zhì)量，保證快速的備件供應(yīng)。Accretech的本地服務(wù)隊伍也相應(yīng)地進行了擴大。愛德萬測試(蘇州)有限公司ATE事業(yè)部總經(jīng)理森屋裕一說：“目前愛德萬測試在國內(nèi)的服務(wù)體系和質(zhì)量與其他海外分公司相比毫不遜色，這是提供中國第一支持服務(wù)的強大基礎(chǔ)。” 

　　對于2005年及今后的市場，各大廠商各執(zhí)一詞，但無論如何，中國市場仍將是這些國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要戰(zhàn)略市場。