市場(chǎng)調(diào)研公司ICInsights日前發(fā)布的報(bào)告顯示，盡管中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)規(guī)模還相對(duì)較小，但中國(guó)的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)2005年卻增長(zhǎng)了32%，達(dá)到408億元，首次成為全球最大的地區(qū)性半導(dǎo)體市場(chǎng)。市場(chǎng)分析公司IDC也表示，未來(lái)5年中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將以兩倍于整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)速度增長(zhǎng)。中國(guó)市場(chǎng)再一次吸引全球目光，在今年的SEMIC ONChina期間，濃郁的全球化色彩也印證了這一點(diǎn)。

　　中國(guó)市場(chǎng)成為競(jìng)技舞臺(tái)

　　在中國(guó)市場(chǎng)，中芯國(guó)際、上海華虹等對(duì)市場(chǎng)的貢獻(xiàn)毋庸置疑，已經(jīng)是連續(xù)3年參加SEMICONChina的 Aviza公司在今年的SEMICONChina期間宣布，已經(jīng)收到中芯國(guó)際訂購(gòu)RVP300和RVP550熱處理系統(tǒng)的多系統(tǒng)訂單，這些設(shè)備將運(yùn)往中芯國(guó)際在北京的新工廠。Aviza公司總裁兼首席執(zhí)行官JerryCutini表示，Aviza的目標(biāo)就是要在中國(guó)樹(shù)立起公司的品牌形象，把公司更多的產(chǎn)品引入中國(guó)。去年8月Aviza宣布合并擁有3 5年歷史的英國(guó)老牌上市設(shè)備公司Trikon。同年12月Aviza與Trikon共同宣布了合并的完成。到目前為止，Aviza的產(chǎn)品包括了熱處理、ALD、CVD、PVD和刻蝕等，服務(wù)的領(lǐng)域也大大擴(kuò)展。另?yè)?jù)了解，Aviza與七星華創(chuàng)的合作也在進(jìn)一步的發(fā)展中。

　　隨著已注入光刻膠的應(yīng)用不斷上升，而與此同時(shí)可允許的材料損失和表面損壞水平程度不斷下降，IC制造過(guò)程中的光刻膠去除已經(jīng)成為整個(gè)產(chǎn)業(yè)界的挑戰(zhàn)。微電子制造領(lǐng)域表面處理設(shè)備技術(shù)和服務(wù)全球性供應(yīng)商FSI公司應(yīng)時(shí)而動(dòng)，發(fā)布了適用于FSI全新的ZETAG3噴霧清洗平臺(tái)的ViPR技術(shù)。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)省去了絕大多數(shù)已注入光刻膠去除所需的灰化工藝步驟，通過(guò)省去了大約80%的前段(FEOL)灰化步驟，F(xiàn)SI為IC制造商提供了一套減少表面損害、材料損失、制造周期時(shí)間和資金投入的全面解決方案。FSI市場(chǎng)營(yíng)銷副總裁ScottBecker表示，ViPR技術(shù)能為IC 制造商提供通過(guò)減少材料損失和表面損壞、縮短加工周期和降低成本而增強(qiáng)其競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的工藝方案。ViPR技術(shù)在65nm 和45nm制造工藝中會(huì)成為必需的技術(shù)，而且在目前的90nm制造工藝中會(huì)有所采納應(yīng)用。

　　如今，高精密化、模塊化和靈活性成為微組裝設(shè)備面臨的挑戰(zhàn)。在這方面，高精度返修和微組裝設(shè)備制造商FI NETECH，推出具有手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)的FINEPLACER系統(tǒng)，通過(guò)模塊化的設(shè)計(jì)使系統(tǒng)具備最大限度的工藝靈活性，并采用一種創(chuàng)新的專利的分光鏡技術(shù)，從而確保設(shè)備的高精確性和可靠性。針對(duì)迅速增長(zhǎng)的設(shè)備市場(chǎng)，F(xiàn)INETE CH股份有限公司首席執(zhí)行官GunterKuerbis介紹，F(xiàn)INETECH十分看好中國(guó)市場(chǎng)，今年將在上海成立F INETECH支持和服務(wù)中心，為中國(guó)客戶提供技術(shù)培訓(xùn)和服務(wù)。

　　本地化服務(wù)能力進(jìn)一步加強(qiáng)

　　雖然我國(guó)代工制造業(yè)近年來(lái)發(fā)展迅猛，但不可否認(rèn)，200毫米、0.18微米-0.35微米技術(shù)還是主流，成本始終是本土廠商關(guān)注的焦點(diǎn)。KLA-Tencor中國(guó)區(qū)總裁蘇華認(rèn)為，光有產(chǎn)品是不夠的，只有良好的服務(wù)與支持才能更好地推動(dòng)業(yè)務(wù)的發(fā)展。KLA-Tencor是半導(dǎo)體行業(yè)工藝流程控制和良率管理解決方案的主要供應(yīng)商，今年KLA -Tencor攜其3款Puma9000暗視野(暗場(chǎng))系統(tǒng)、2800亮視野(亮場(chǎng))系統(tǒng)以及eS32電子束檢測(cè)系統(tǒng)亮相SEMICONChina，這些產(chǎn)品都是針對(duì)65納米及以下工藝的，在SEMICONChina展會(huì)上推這些用于先進(jìn)工藝的設(shè)備，蘇華認(rèn)為，在中國(guó)雖然90納米并沒(méi)有進(jìn)入真正意義上的量產(chǎn)，但這對(duì)于中國(guó)晶圓代工廠盡早地接觸和學(xué)習(xí)來(lái)講還是具有戰(zhàn)略意義。目前，中國(guó)市場(chǎng)占KLA-Tencor業(yè)務(wù)的不到10%，有著廣闊的發(fā)展空間，對(duì)于未來(lái)兩年K LA-Tencor在中國(guó)的發(fā)展，蘇華認(rèn)為，一方面要組織一支技術(shù)過(guò)硬，服務(wù)到位的團(tuán)隊(duì)，另一方面，則是要通過(guò)增加客戶滿意度來(lái)提升在中國(guó)的市場(chǎng)份額。

　　隨著半導(dǎo)體向65納米和45納米工藝發(fā)展，前段和后段晶片清洗技術(shù)都面臨著新的挑戰(zhàn)。SEZ亞太區(qū)技術(shù)行銷副總裁陳溪新在接受記者采訪時(shí)認(rèn)為，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)材料變得越來(lái)越脆弱，而清洗效果和材料損失的要求卻變得越來(lái)越嚴(yán)格。特別是對(duì)于關(guān)鍵層而言，更需要革新技術(shù)加以應(yīng)對(duì)，而這正是SEZ的優(yōu)勢(shì)所在。陳溪新介紹說(shuō)，目前SEZ已經(jīng)占單晶圓濕式處理市場(chǎng)65%的份額。而在中國(guó)市場(chǎng)，SEZ自2000年正式進(jìn)入以來(lái)，則在硬件、工藝、軟件等方面重點(diǎn)進(jìn)行了本土技術(shù)人員的培訓(xùn)。國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商在良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境下，近年來(lái)取得了很大進(jìn)步，陳溪新表示，SEZ愿與中國(guó)本土廠商開(kāi)展各種形式的合作，但SEZ更看好中國(guó)合作伙伴的技術(shù)能力。

　　二手翻新設(shè)備繼續(xù)成為關(guān)注焦點(diǎn)

　　有關(guān)數(shù)據(jù)表明，半導(dǎo)體二手翻新設(shè)備將在今年上半年開(kāi)始逐漸稀缺，今年下半年到2008年之間則極度稀缺，價(jià)格上漲。SEMI中國(guó)市場(chǎng)分析師倪兆明認(rèn)為，0.25微米-0.35微米之間的二手設(shè)備將成為中國(guó)市場(chǎng)的熱點(diǎn)。諾發(fā)公司也認(rèn)為，中國(guó)有望成為全球最大的翻新設(shè)備市場(chǎng)。

　　在SEMICONChina期間，諾發(fā)公司正式宣布任命原擔(dān)任諾發(fā)中國(guó)業(yè)務(wù)總監(jiān)的土生土長(zhǎng)的北京人汪挺出任諾發(fā)中國(guó)區(qū)總裁，這也表明諾發(fā)對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的看重和信心。隨著中國(guó)對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)影響力的逐步增強(qiáng)，市場(chǎng)機(jī)會(huì)也越來(lái)越多，汪挺表示："諾發(fā)將進(jìn)一步增強(qiáng)在提供端到端的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)、維護(hù)以及銷售等方面的能力，以便更好地服務(wù)于我們?cè)谥袊?guó)的客戶。"在談到諾發(fā)業(yè)務(wù)部署時(shí)，汪挺強(qiáng)調(diào)，目前諾發(fā)將針對(duì)"成本型"的低端設(shè)備、"價(jià)值型"的成熟翻新設(shè)備以及"技術(shù)型"的最新高端設(shè)備3個(gè)方面的定位，而其中最主要的部分就是公司的"價(jià)值型"產(chǎn)品業(yè)務(wù)。在這一業(yè)務(wù)領(lǐng)域，諾發(fā)向市場(chǎng)提供的是適用于0.15微米-0.5微米工藝的翻新設(shè)備。諾發(fā)公司負(fù)責(zé)全球翻新設(shè)備業(yè)務(wù)的相關(guān)人士表示，為了進(jìn)一步推廣相應(yīng)的業(yè)務(wù)，諾發(fā)正在提供以舊換新業(yè)務(wù)模式，這種模式可以讓用戶將使用過(guò)的設(shè)備與諾發(fā)的翻新設(shè)備進(jìn)行交換。

　　對(duì)于二手設(shè)備的成本考慮，是否一定比購(gòu)買新設(shè)備劃算，專家提醒，要綜合考慮設(shè)備維護(hù)費(fèi)用，要慎重選擇合作伙伴，建立長(zhǎng)期合作伙伴很重要。

　　 觀點(diǎn)：

　　 零部件本地化建設(shè)　是完善產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵

　　在今年的SEMICONChina展會(huì)上，我們發(fā)現(xiàn)了"子系統(tǒng)和零部件"展區(qū)，這一新內(nèi)容可以說(shuō)是今年S EMICONChina的一大看點(diǎn)，據(jù)介紹，"子系統(tǒng)和零部件"專區(qū)也將在未來(lái)的SEMICONChina中有更大的發(fā)展。出于降低設(shè)備成本等諸多方面的考慮，在中國(guó)發(fā)展設(shè)備零部件配套產(chǎn)業(yè)將有助于國(guó)際設(shè)備廠商整體競(jìng)爭(zhēng)力的提升和中國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈的完善。在展會(huì)期間舉辦的半導(dǎo)體設(shè)備本土化與本土化采購(gòu)高層研討會(huì)上，與會(huì)專家對(duì)設(shè)備的本地化以及零部件在中國(guó)的發(fā)展給出了許多建設(shè)性的建議，專家認(rèn)為，在我們國(guó)家倡導(dǎo)自主創(chuàng)新的今天，零部件的發(fā)展對(duì)未來(lái)中國(guó)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將有極大的推動(dòng)作用。

　　加強(qiáng)零部件本地化建設(shè)是完善我國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵。半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是產(chǎn)業(yè)鏈中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，如果產(chǎn)業(yè)鏈不完善，基礎(chǔ)環(huán)節(jié)不健全，這對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和促進(jìn)將是很有限的。韓國(guó)和我國(guó)臺(tái)灣省目前正在從產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)角度出發(fā)，著重發(fā)展材料和備件，產(chǎn)業(yè)完善了，投資與回報(bào)就會(huì)更大。專家認(rèn)為，把國(guó)外設(shè)備商的供應(yīng)商帶到中國(guó)來(lái)是很好的辦法，有助于在短期內(nèi)建立一個(gè)產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。半導(dǎo)體設(shè)備不像汽車和零部件具有規(guī)模效應(yīng)，半導(dǎo)體設(shè)備量小，科技含量高，需要考慮的問(wèn)題很多，從產(chǎn)業(yè)鏈的角度看待這一問(wèn)題很重要。

　　在中國(guó)的特殊環(huán)境下，發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，專家認(rèn)為，應(yīng)該設(shè)備及零部件兩手都抓，不應(yīng)該偏廢任何一方。但在前一段時(shí)期，我們總體上把注意力放在了攻克高端設(shè)備上，對(duì)零部件的技術(shù)支持力度不夠，究其原因很好理解，因?yàn)榱㈨?xiàng)一臺(tái)高水平的機(jī)械泵或者半導(dǎo)體用不銹鋼接頭、閥門等，盡管屬于半導(dǎo)體設(shè)備，用途也非常廣泛，但是很難靠上高科技，因此既得不到立項(xiàng)支持，也談不上經(jīng)費(fèi)的資助，其命運(yùn)可想而知，實(shí)際上，運(yùn)用在半導(dǎo)體上的部件，都是當(dāng)今工業(yè)界頂級(jí)水平，需要許多相關(guān)高科技的配合，水平并不低，卻得不到相關(guān)部門的認(rèn)同，所以要實(shí)現(xiàn)零部件的本地化，需要全國(guó)上下統(tǒng)一認(rèn)識(shí)，要站在高起點(diǎn)上發(fā)展，盡快完善我國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈。