中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的資料顯示，2004年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備（不含外資在華組裝企業(yè)）銷售額為4.23億元人民幣。SEMI China對(duì)2004年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)額的統(tǒng)計(jì)是約224億元人民幣。4.23億元的銷售額、大約1/50的自供能力，使得我們目前對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備還很難用“產(chǎn)業(yè)”來(lái)稱呼。
　　但中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)“星火”比2003年增長(zhǎng)了67%，2005年更是看到了產(chǎn)業(yè)化的希望。據(jù)中科院微電子所副所長(zhǎng)兼EDA中心主任葉甜春，在近日由浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)主辦的“長(zhǎng)三角半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)聯(lián)誼會(huì)”上介紹，北京北方微電子基地公司研制的100nm刻蝕機(jī)、北京中科信公司研制的注入機(jī)已在SMIC天津廠進(jìn)行工藝核驗(yàn)，上海微電子裝備公司100nm光刻機(jī)今年底開(kāi)始整機(jī)組裝、2006年完成樣機(jī)調(diào)試。
　　盡管國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)研發(fā)已有局部突破，在快速熱處理設(shè)備、塑封機(jī)、單晶爐、拋光機(jī)等部分產(chǎn)品上已用于國(guó)內(nèi)部分6英寸生產(chǎn)線中，但主流大規(guī)模生產(chǎn)線基本上被國(guó)際半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商壟斷也是個(gè)長(zhǎng)期存在的事實(shí)。
　　2005年4月，在位于金橋出口加工區(qū)的上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)基地和上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展中心揭牌儀式上，上海市經(jīng)委副主任王堅(jiān)表示：“到2010年，上海將爭(zhēng)取成為世界級(jí)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地，引領(lǐng)我國(guó)成為繼美國(guó)、日本后的世界第三大半導(dǎo)體裝備制造大國(guó)。”據(jù)上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)副秘書(shū)長(zhǎng)薛自介紹，上海市政府已出資3000萬(wàn)元啟動(dòng)上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)基地的建設(shè)，但目前要想進(jìn)入國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線仍然是件困難的事。
　　“一代裝備、一代工藝、一代產(chǎn)品”，這是半導(dǎo)體制造業(yè)的定律。但動(dòng)輒2000萬(wàn)美元的光刻機(jī)、800萬(wàn)美元的PVD、500萬(wàn)美元的刻蝕機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備，已使12英寸建線資金上升到20～30億美元。據(jù)TEL中國(guó)總裁陳捷介紹，2004年國(guó)際市場(chǎng)300mm設(shè)備已超200mm，2005年300mm設(shè)備將會(huì)有70～80%增長(zhǎng)。陳捷認(rèn)為，半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商要有提供高性能、低成本的新設(shè)備能力才有業(yè)務(wù)增長(zhǎng)的可能。葉甜春也表示，低成本解決方案是全球半導(dǎo)體制造業(yè)的出路所在。
　　以低價(jià)將國(guó)產(chǎn)設(shè)備切入到生產(chǎn)線中，似乎為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者帶來(lái)一線希望。中科院微電子所研究員王守國(guó)表示，“如果說(shuō)要花1500萬(wàn)美元買臺(tái)進(jìn)口設(shè)備的話，那我們能賣到150萬(wàn)美元就相當(dāng)滿意了。”但在目前的中國(guó)市場(chǎng)中，低價(jià)并不是中國(guó)本土公司特有的，TEL目前已在中國(guó)通過(guò)設(shè)備的用材及保修期方面采取靈活策略提供高性能、低成本的新設(shè)備，以期吸引中國(guó)的二手設(shè)備用戶。
　　但晶圓制造商們?cè)诓少?gòu)設(shè)備時(shí)，價(jià)格高低似乎并不是唯一考慮因素。陳捷表示，設(shè)備供應(yīng)商正在承擔(dān)更多的技術(shù)研發(fā)任務(wù)，以適應(yīng)更多的下游用戶要求上游廠家提供更廣泛的服務(wù)，目前晶圓制造工藝技術(shù)很多都需設(shè)備供應(yīng)商提供。這就是問(wèn)題的所在：中國(guó)制造商持續(xù)的新設(shè)備開(kāi)發(fā)能力及相適應(yīng)的配套服務(wù)能力，目前還無(wú)法讓其下游廠家放心。
　　不過(guò)在此點(diǎn)上，中國(guó)設(shè)備廠商與二手設(shè)備提供商面臨著同樣的宿命。盡管二手設(shè)備有著先期生產(chǎn)線成功運(yùn)行案例，只要具有經(jīng)驗(yàn)豐富的Fab人才，也會(huì)將舊設(shè)備的維修費(fèi)用降下來(lái)，但二手設(shè)備對(duì)技術(shù)工藝選擇窗口畢竟太小，后續(xù)升級(jí)設(shè)備也得不到保證。而用戶最擔(dān)心的供應(yīng)商倒閉風(fēng)險(xiǎn)，二手設(shè)備提供商甚至比中國(guó)本土設(shè)備廠商更大。在此前提下，中國(guó)本土設(shè)備廠商的低價(jià)策略就有了誘惑力。如果以國(guó)際領(lǐng)先供應(yīng)商1/10的價(jià)格來(lái)界定中國(guó)本土供應(yīng)商的售價(jià)，那么中國(guó)目前充滿活力的二手設(shè)備市場(chǎng)，可能離門庭羅雀不遠(yuǎn)了。
　　在蠶食二手設(shè)備市場(chǎng)的同時(shí)，積極尋求成為國(guó)際大廠配套服務(wù)商伺機(jī)進(jìn)入主流市場(chǎng)，也應(yīng)是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者的一個(gè)選項(xiàng)。陳捷表示，其實(shí)進(jìn)入主流市場(chǎng)并不是技術(shù)問(wèn)題，TEL目前在中國(guó)有15～20%銷售收入來(lái)自服務(wù)，因?yàn)榕嘤蛻艉苤匾?。而從日本半?dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展歷程來(lái)看，正是當(dāng)初甘為美國(guó)廠商做配套服務(wù)的定位起到了相當(dāng)關(guān)鍵的作用。
　　美國(guó)、日本半導(dǎo)體制造設(shè)備業(yè)，因?yàn)橛辛司薮蟮谋镜厥袌?chǎng)需求支撐，所以很強(qiáng)大。韓國(guó)、臺(tái)灣，沒(méi)有足夠的本地市場(chǎng)依靠，所以難成氣候。中國(guó)大陸，已有潛力龐大的本地市場(chǎng)可依托，所以現(xiàn)在的“星火”就有了“燎原”的可能，盡管目前燎原之勢(shì)還不清晰可見(jiàn)。