利用印刷工藝制作使用碳納米管技術(shù)問世
美國Optomec利用印刷工藝制作出了使用碳納米管(CNT)、工作頻率5GHz的晶體管新聞發(fā)布。由美國麻省州立大學(xué)(University of Massachusetts)和美國Brewer Science共同開發(fā)。由于使用Optomec的印刷技術(shù)“Aerosol Jet”就可以形成晶體管的全部構(gòu)成要素,因此無需真空工藝和曝光工藝。
Aerosol Jet已用于制造太陽能電池和燃料電池等的印刷設(shè)備。首先,將導(dǎo)電性及非導(dǎo)電性墨水或漿料制成空氣溶膠,而后進行液滴噴射。
此次,利用印刷技術(shù)在Kapton板上形成通道寬200μm、長100μm的晶體管。以5GHz頻率工作時的開關(guān)電流比大于100。半導(dǎo)體層采用密度為1000μmsup2sup的具有微細(xì)結(jié)構(gòu)的CNT。
麻省州立大學(xué)等發(fā)表的論文稱,柵極和漏極的形成均采用了美國UT Dots的Ag墨水。在130℃的條件下燒結(jié)30分鐘。
此前,NEC曾發(fā)布過利用印刷技術(shù)制作全部構(gòu)成要素的CNT晶體管。
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