被國際上稱之為戰(zhàn)略工業(yè)的半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)是支撐半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的基礎(chǔ)，是半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)，它融合了約50個學(xué)科的高新技術(shù)，是基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究共同發(fā)展的產(chǎn)物和科學(xué)技術(shù)水平的集中表現(xiàn)，也是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的高度物化。沒有強(qiáng)大的半導(dǎo)體和集成電路專用裝備的支撐，我們將不具備爭奪未來龐大信息產(chǎn)業(yè)市場的主動權(quán)。 

　　亮點一：我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)量下降的同時銷售額卻大增 


　　隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場的快速發(fā)展，我國從事半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)正在迅速增加，已從2002年的40個發(fā)展為2003年的接近60個（包括兼做單位），其中主要單位20家左右。大部分單位從事前工序和后工序設(shè)備研制，材料制備設(shè)備、凈化設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、檢測設(shè)備、試驗設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備零部件也各有一些單位在研究和生產(chǎn)。一些國外企業(yè)已開始在中國設(shè)廠，為行業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。 

　　據(jù)對其中16家主要單位的統(tǒng)計，在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)量同比下降28.8％的同時，2003年半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)到25361萬元（未包括凈化設(shè)備、試驗設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件），同比增長51.3％，說明我國半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)檔次有了較大幅度的提升。如將凈化設(shè)備、試驗設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件以及16家以外的半導(dǎo)體設(shè)備單位統(tǒng)計在內(nèi)，我國半導(dǎo)體設(shè)備2003年的銷售額應(yīng)在4億元以上。 

　　2003年電子專用設(shè)備行業(yè)銷售收入前8名的單位中有7家都不同程度地從事半導(dǎo)體或凈化設(shè)備工作，其中江蘇蘇凈集團(tuán)有限公司，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司仍然位居行業(yè)第一、二位。 

　　從銷售角度分析，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的服務(wù)方向雖仍以一些院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線以及半導(dǎo)體分立器件、LED、太陽能電池、SAW、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域為主，但部分材料制備設(shè)備（6英寸單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)）、后道工序設(shè)備（6英寸劃片機(jī)、塑封機(jī)、自動封裝系統(tǒng)、模具）以及6英寸前道工序中的擴(kuò)散設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等已逐步進(jìn)入集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。 

　　亮點二：國際合作全面開花在國際合作方面，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司與法國合資成立的生產(chǎn)數(shù)字及模擬質(zhì)量流量計的七星弗洛爾公司已正式開業(yè)；與美國AVIZA公司也已簽訂合作意向，共同開發(fā)8英寸立式擴(kuò)散爐市場。 

　　2003年10月，銅陵三佳（集團(tuán)）有限責(zé)任公司和韓國豐山微電子株式會社共同出資組建的銅陵豐山三佳微電子有限公司正式開業(yè)，一期注冊資金2000萬美元，生產(chǎn)具有國際競爭力的“半導(dǎo)體集成電路引線框架”及“引線框架模具”，計劃2004年～2007年分兩期共投資7500萬美元，將成為中國引線框架和引線框架模具最大的生產(chǎn)基地。 

　　青島旭光儀表設(shè)備有限公司與法國AET公司，經(jīng)過多次商談達(dá)成了合作意向，擬在青島旭光生產(chǎn)國際先進(jìn)水平的“電加熱元件”，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步合作生產(chǎn)相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備。 

　　亮點三：科研及重點項目進(jìn)展順利由中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所和四十八研究所、北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司、國投南光有限公司、西北機(jī)器廠、西安電子科技大學(xué)等單位研制，中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所負(fù)責(zé)應(yīng)用研究的國家重點攻關(guān)項目———6英寸、0.5微米集成電路芯片生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備共計14種、18臺套全部順利通過了鑒定和驗收，并已經(jīng)在生產(chǎn)線投入使用。這14種設(shè)備包括電子束曝光機(jī)、分步重復(fù)投影曝光機(jī)、M－RIE金屬刻蝕設(shè)備、RIE介質(zhì)刻蝕設(shè)備、IMD－CVD設(shè)備、LPCVD、大束流離子注入機(jī)、磁控濺射系統(tǒng)、氧化擴(kuò)散系統(tǒng)、ECR－CVD、硅片勻膠顯影處理系統(tǒng)、石英管清洗機(jī)、硅片腐蝕清洗系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)等。其中突破重大關(guān)鍵技術(shù)152項，取得專利49項，培養(yǎng)和鍛煉專業(yè)技術(shù)人才189人。這是中國自行研制的第一條6英寸0.5微米的集成電路生產(chǎn)線，它的研制成功為縮小我國與國際先進(jìn)水平的差距做出了貢獻(xiàn)，為振興電子專用裝備制造業(yè)奠定了良好的基礎(chǔ)。 

　　國家高科技項目中的光刻機(jī)、離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、大直徑硅單晶爐項目等正在加緊進(jìn)行。電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金安排的8英寸快速熱處理設(shè)備、8英寸多工位硅片清洗腐蝕設(shè)備、8英寸硅片自動劃片機(jī)、集成電路自動封裝系統(tǒng)、VXI數(shù)?；旌霞呻娐窚y試系統(tǒng)等，以及一部分企業(yè)自行安排的材料制備設(shè)備和后工序設(shè)備的研制也已進(jìn)入尾聲。 

　　信息產(chǎn)業(yè)部2001年度電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金重點支持項目———8英寸立式擴(kuò)散爐在北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司研發(fā)成功并已進(jìn)入設(shè)備調(diào)試階段。該設(shè)備填補(bǔ)了國內(nèi)集成電路專用立式爐的空白，兼容性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)簡潔，配置先進(jìn)。 

　　在信息產(chǎn)業(yè)部2003年電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金招標(biāo)項目中，中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所的四元化合物材料生長用金屬有機(jī)化學(xué)汽相淀積（MOCVD）設(shè)備中標(biāo)。這是繼該所承擔(dān)的由國家“863”計劃以及電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金支持的GaNMOCVD之后的又一種用于InGaAlP、In－GaAlAs等四元化合物材料生長的LED、LD生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備，將為我國LED及半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的發(fā)展創(chuàng)造有利的條件。 

　　亮點四：產(chǎn)業(yè)發(fā)展良好環(huán)境正逐步形成 

　　1994年以來，我國集成電路行業(yè)一直保持了高速發(fā)展的態(tài)勢，2003年我國集成電路總產(chǎn)量134.1億塊，同比增長39.3％；預(yù)計2005年我國集成電路總產(chǎn)量將達(dá)到200億塊，銷售額600億～800億元；預(yù)計2010年我國將成為全球第二大集成電路市場，2020年中國有可能成為全球最大的集成電路制造基地之一。中國集成電路的快速發(fā)展，帶動了我國半導(dǎo)體設(shè)備市場的快速增長。據(jù)國外市場調(diào)研公司統(tǒng)計，2003年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場達(dá)到17億美元，占全球市場銷售額的5.2％。此外，由于我國半導(dǎo)體分立器件行業(yè)的快速發(fā)展，也將帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備市場的較大增長。 

　　但是，與我國快速發(fā)展的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)相比，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展卻相對緩慢，新建的6英寸、8英寸集成電路制造廠幾乎都是從國外引進(jìn)設(shè)備，無論在技術(shù)上還是在資金上都制約著我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。我國半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)仍然是非常脆弱的。 

　　2003年以來，關(guān)于發(fā)展我國“半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)”的問題已分別被列入《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃》和《“十一五”振興我國裝備制造業(yè)的途徑與對策》等項目中進(jìn)行研究，反映了國家對此領(lǐng)域的高度重視；北京、上海、廣東、沈陽等地也分別將發(fā)展半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備列為地區(qū)的發(fā)展重點；風(fēng)華集團(tuán)申報的裝備制造業(yè)基地項目已被廣東省列為裝備制造業(yè)重點技術(shù)改造項目，得到了廣東省的大力支持；沈陽芯源公司的半導(dǎo)體設(shè)備項目得到了沈陽市政府的高度重視……發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備的良好環(huán)境正在逐步形成。 

　　另一方面，隨著電子基礎(chǔ)產(chǎn)品小型化、微型化的發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備已越來越多地擴(kuò)展應(yīng)用到電力電子器件、MEMS、MOEMS、高頻頻率器件、TFT－LCD、LED（包括半導(dǎo)體照明）、PDP、VFD、太陽能電池、敏感器件、CCD、光纖通信器件、光盤、電子無源元件等領(lǐng)域，具有極強(qiáng)的產(chǎn)業(yè)帶動性。因此，為實現(xiàn)我國由信息產(chǎn)業(yè)大國向信息產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國的轉(zhuǎn)變，應(yīng)大力振興作為半導(dǎo)體和集成電路制造業(yè)基礎(chǔ)的專用裝備制造業(yè)。