各種激發(fā)和檢測方法所構成的能譜名稱
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| 檢測 | 激發(fā) | ||
| 光子（hv） | 電子（e） | 離子（I） | |
| 光子（hv） | X射線光譜 熒光光譜 其他光譜 | 電子微探針 （EPMA或XMA） | 離子引發(fā)X射線光譜（IIR） |
| 電子（e） | 光電子能譜 （ESCA或XPS，UPS） 俄歇電子能譜 （AES） | 俄歇電子能譜 （AES） 低能衍射（LEED） 高能衍射（RHEED） 能量損失譜（ELS） 掃描俄歇顯微鏡 （SAM） | 離子中和譜 （INS） |
| 離子（I） | � | 電子探針表面質(zhì)譜 （EPSMS） | 二次離子質(zhì)譜 （SIMS） 離子散射譜 （ISS） |