各種激發(fā)和檢測方法所構成的能譜名稱
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檢測 | 激發(fā) | ||
光子(hv) | 電子(e) | 離子(I) | |
光子(hv) | X射線光譜 熒光光譜 其他光譜 | 電子微探針 (EPMA或XMA) | 離子引發(fā)X射線光譜(IIR) |
電子(e) | 光電子能譜 (ESCA或XPS,UPS) 俄歇電子能譜 (AES) | 俄歇電子能譜 (AES) 低能衍射(LEED) 高能衍射(RHEED) 能量損失譜(ELS) 掃描俄歇顯微鏡 (SAM) | 離子中和譜 (INS) |
離子(I) | � | 電子探針表面質(zhì)譜 (EPSMS) | 二次離子質(zhì)譜 (SIMS) 離子散射譜 (ISS) |