東精精密設(shè)備(上海)有限公司副總經(jīng)理周雅萍:

兩大策略拓展中國(guó)市場(chǎng)
　　眾所周知，中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)近年來(lái)迅速發(fā)展壯大。Accretech(東京精密)公司的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)也隨著中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的成長(zhǎng)不斷擴(kuò)大。為了提供及時(shí)和規(guī)范的備件供應(yīng)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體客戶(hù)無(wú)待機(jī)時(shí)間的嚴(yán)格要求，東京精密在1994年成立辦事處的基礎(chǔ)上，2002年又在上海成立了現(xiàn)地法人公司--東精精密設(shè)備(上海)有限公司，同時(shí)，在上海外高橋設(shè)立了保稅庫(kù)。Accretech的現(xiàn)地服務(wù)隊(duì)伍也相應(yīng)擴(kuò)大，這些都已成為Accretech提供高效快捷服務(wù)的基礎(chǔ)。
　　中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)在高速發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備的需求也在不斷變化。尤其是國(guó)際上知名的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠(chǎng)陸續(xù)在中國(guó)內(nèi)地建立生產(chǎn)基地，加速了中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)制作技術(shù)的提升。
　　中國(guó)客戶(hù)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求也發(fā)生了變化。幾年前，客戶(hù)要求價(jià)格便宜工藝簡(jiǎn)單的設(shè)備，通?？蛻?hù)感興趣的設(shè)備為Accretech生產(chǎn)的低端產(chǎn)品。隨著中國(guó)客戶(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝水平的提升，中國(guó)客戶(hù)對(duì)先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備需求不斷增加。在設(shè)備采購(gòu)過(guò)程中，加工質(zhì)量成為主要的考慮因素。另外，由于中國(guó)客戶(hù)在不斷提高生產(chǎn)工藝，Accretech開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品也以其優(yōu)良的性能價(jià)格比，在中國(guó)受到歡迎。比如Accretech新開(kāi)發(fā)的硅片背面減薄機(jī)，可以將硅片減薄到50μm，用于對(duì)硅片厚度有特殊要求的封裝工藝，它可以集成硅片減薄的粗磨、精磨、拋光、去保護(hù)膜和貼劃片膜工藝，目前許多客戶(hù)對(duì)此類(lèi)先進(jìn)設(shè)備也非常感興趣，有些客戶(hù)已經(jīng)在使用此設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
　　由于中國(guó)內(nèi)地市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的要求在變化，Accretech公司也針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的需求，轉(zhuǎn)變公司的銷(xiāo)售策略。Accretech將繼續(xù)加大傳統(tǒng)半導(dǎo)體設(shè)備的銷(xiāo)售，進(jìn)一步提高售前售后服務(wù)的質(zhì)量。對(duì)探針臺(tái)來(lái)說(shuō)，Accretech的探針臺(tái)已被中國(guó)客戶(hù)接受，占有比較大的市場(chǎng)份額，工作重點(diǎn)主要是提高產(chǎn)品的售后服務(wù)質(zhì)量，保證快速的備件供應(yīng)。對(duì)于劃片機(jī)來(lái)說(shuō)，Accretech將針對(duì)中國(guó)客戶(hù)推出新的產(chǎn)品，并推廣高端的劃片機(jī)產(chǎn)品，如全自動(dòng)劃片機(jī)及雙主軸劃片機(jī)。同時(shí)，Accretech也將加大新產(chǎn)品的推廣力度，主要是用于半導(dǎo)體前道工藝及硅片表面缺陷檢測(cè)設(shè)備WW50及CMP設(shè)備ChaMP。這些前道設(shè)備均為Accretech近幾年開(kāi)發(fā)的新設(shè)備，吸收了原有設(shè)備廠(chǎng)商的經(jīng)驗(yàn)并融合了Accretech先進(jìn)的精密加工技術(shù)及技術(shù)解決方案，可以滿(mǎn)足最先進(jìn)的半導(dǎo)體加工要求。隨著中國(guó)內(nèi)地芯片廠(chǎng)的增加，我們相信新設(shè)備的銷(xiāo)售將是Accretech在中國(guó)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的新增長(zhǎng)點(diǎn)。
　　從全球半導(dǎo)體市場(chǎng)看，2005年半導(dǎo)體市場(chǎng)將又一次進(jìn)入調(diào)整階段，但相對(duì)上次的低谷時(shí)期對(duì)設(shè)備廠(chǎng)商的影響要小。我們預(yù)測(cè)到2006年3月市場(chǎng)會(huì)有所回升。今年Accretech將繼續(xù)擴(kuò)大工廠(chǎng)生產(chǎn)規(guī)模，繼續(xù)革新生產(chǎn)工藝，降低制造成本，迎接快速回升的繁榮市場(chǎng)。當(dāng)然全球半導(dǎo)體市場(chǎng)不景氣對(duì)中國(guó)的市場(chǎng)也會(huì)有影響，但通過(guò)全體員工的努力，我們相信今年的中國(guó)市場(chǎng)將保持穩(wěn)定。
Accretech的產(chǎn)品品牌由原來(lái)的TSK變?yōu)楝F(xiàn)在的ACCRETECH，東京精密將繼續(xù)在中國(guó)加大市場(chǎng)推廣工作。我們將參加在上海舉辦的Semicon China及在北京舉辦的IC China展覽會(huì)。相信中國(guó)客戶(hù)將更加了解東京精密，了解ACCRETECH不僅是優(yōu)秀的探針臺(tái)及劃片機(jī)生產(chǎn)商，而且可以提供先進(jìn)的前道加工設(shè)備。
Novellus Systems公司亞太區(qū)運(yùn)營(yíng)高級(jí)副總裁Chen Fusen:
強(qiáng)化設(shè)備生產(chǎn)能力服務(wù)客戶(hù)
　　很明顯，由于中國(guó)的半導(dǎo)體市場(chǎng)日漸成熟，這個(gè)地區(qū)將在全球半導(dǎo)體工業(yè)的增長(zhǎng)中扮演越來(lái)越重要的角色。市場(chǎng)分析家預(yù)測(cè)，2004年中國(guó)整個(gè)電子工業(yè)的收入已增加到1800億美元以上(Dataquest)。同時(shí)，根據(jù)Dataquest預(yù)測(cè)，與全球6.7%的復(fù)合年度增長(zhǎng)率(CAGR)相比，中國(guó)電子工業(yè)從2003年到2008年將增長(zhǎng)12.9%，2005年數(shù)字、蜂窩和基于DSL的產(chǎn)品預(yù)計(jì)將超過(guò)360億美元，這代表著最大的市場(chǎng)部分。
　　通信和消費(fèi)電子產(chǎn)品、移動(dòng)電話(huà)、家用電器、電視機(jī)、DVD播放機(jī)的增長(zhǎng)和其他新一代應(yīng)用，繼續(xù)推動(dòng)著中國(guó)對(duì)領(lǐng)先的芯片的需求。為了滿(mǎn)足這種需求，中國(guó)的半導(dǎo)體生產(chǎn)日漸增長(zhǎng)，反過(guò)來(lái)，這也刺激了具有成本效益和生產(chǎn)效率的用于生產(chǎn)新型IC的半導(dǎo)體制造裝備的需求。芯片制造商繼續(xù)面臨著巨大的制造挑戰(zhàn)，因?yàn)樗麄円先找嬖鲩L(zhǎng)的市場(chǎng)需求，滿(mǎn)足那些低功耗和靈活性的更小和更快的產(chǎn)品應(yīng)用要求，又因?yàn)楦邫n消費(fèi)產(chǎn)品需要更多特殊的材料，諸如銅金屬化和低k介電質(zhì)等，制造過(guò)程中也就需要更先進(jìn)的設(shè)備。器件的縮小、新材料的應(yīng)用和晶圓基片尺寸的增加，共同引發(fā)了一場(chǎng)對(duì)高成本帶來(lái)巨大沖擊的技術(shù)創(chuàng)新的"完美風(fēng)暴"。諸如銅金屬化、低k介電質(zhì)、高k柵氧化層、絕緣體上硅(SOI)和應(yīng)力硅晶格等技術(shù)，都需要工程設(shè)計(jì)資源和資金方面的巨大投入，以確保制造工藝的無(wú)縫整合。
　　為了迎接這些制造方面的挑戰(zhàn)，設(shè)備制造商需要擴(kuò)展其現(xiàn)有設(shè)備的生產(chǎn)能力和設(shè)備的使用壽命。平臺(tái)可延伸性可以滿(mǎn)足技術(shù)和生產(chǎn)力兩方面的需求。假如沒(méi)有出眾的技術(shù)，要在一兩個(gè)制造節(jié)點(diǎn)的平臺(tái)可延伸性方面領(lǐng)先，通常是不可能的。在美國(guó)和歐洲那些成熟的市場(chǎng)，的確是這樣，在中國(guó)這樣的新出現(xiàn)的市場(chǎng)也不會(huì)例外。
　　在像中國(guó)一樣的對(duì)成本敏感的市場(chǎng)，制造商面對(duì)的挑戰(zhàn)在技術(shù)和生產(chǎn)能力方面提出了一個(gè)新的問(wèn)題。為了節(jié)省成本而投資于過(guò)時(shí)的或質(zhì)量低劣的設(shè)備，不僅影響下游產(chǎn)品的質(zhì)量，還要求制造商根據(jù)每一種器件尺寸的縮小而在新工具方面進(jìn)行投資。要使設(shè)備的使用壽命可以覆蓋多個(gè)工藝發(fā)展階段的更有效的方法，就是投資于具有可擴(kuò)展性和靈活性的優(yōu)質(zhì)高科技設(shè)備。
　　為了幫助用戶(hù)克服制造面臨的挑戰(zhàn)，Novellus的整個(gè)產(chǎn)品線(xiàn)均具有平臺(tái)可延伸性。例如，電化學(xué)沉積技術(shù)最初是用于0.25μm的，現(xiàn)在無(wú)需重新設(shè)計(jì)已經(jīng)擴(kuò)展到了45nm的SABRE Electrofill平臺(tái)。在2004年12月，Novellus把第一臺(tái)SABRE300mm銅電鍍?cè)O(shè)備裝運(yùn)到一家領(lǐng)先的中國(guó)代工廠(chǎng)。
　　同樣，INOVA物理蒸發(fā)沉積(PVD)系統(tǒng)也是這樣，它最初是在180nm的微米級(jí)應(yīng)用的，現(xiàn)在已經(jīng)延伸到了45nm平臺(tái)。在化學(xué)汽相沉積(CVD)方面，諸如鎢溝填脈沖晶核形成層技術(shù)的創(chuàng)新，使Novellus能夠利用ALTUS系統(tǒng)，在極端困難的45nm結(jié)構(gòu)條件下，進(jìn)行無(wú)氣泡填充，而不犧牲CVD方法固有的生產(chǎn)效率。類(lèi)似的創(chuàng)新也被用于鋁質(zhì)蝕刻制造工藝中先進(jìn)的電介質(zhì)填充，以保持高量產(chǎn)的CVD沉積率。Novellus的VECTOR系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)為在同一個(gè)反應(yīng)堆中沉積先進(jìn)的低k介電質(zhì)膜優(yōu)化的，該反應(yīng)堆過(guò)去經(jīng)常用來(lái)沉積比較普通的硅氮化物等的薄膜。此外，用于250nm工藝的同樣的平臺(tái)也能用于45nm工藝。
　　從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)說(shuō)，技術(shù)和可靠性的焦點(diǎn)在于，既要有低成本的系統(tǒng)服務(wù)，也要減少先進(jìn)器件的制造成本。隨著最前沿技術(shù)的應(yīng)用，可以使制造商能夠生產(chǎn)更具有附加價(jià)值的個(gè)性化的產(chǎn)品，以便在市場(chǎng)上獲得額外的回報(bào)。這既迅速滿(mǎn)足了日益成長(zhǎng)的中國(guó)需求，中國(guó)的半導(dǎo)體工業(yè)也很有可能克服影響全球工業(yè)的一些相同的難題。為了支撐長(zhǎng)期的增長(zhǎng)和擴(kuò)張，除在成本方面進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)外，中國(guó)的半導(dǎo)體工業(yè)需要提升到更優(yōu)質(zhì)的檔次。
愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試(蘇州)有限公司ATE事業(yè)部總經(jīng)理森屋裕一:
維護(hù)和服務(wù)是第一目標(biāo)
　　伴隨著業(yè)界景氣的恢復(fù)，2004年也成為外商對(duì)華投資再開(kāi)始的契機(jī)。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)伴隨著中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的快速成長(zhǎng)，在政府欲增加國(guó)產(chǎn)化比例的政策下，全球性的IDM企業(yè)增產(chǎn)，F(xiàn)oundry的規(guī)模擴(kuò)張，Assembly&Test工廠(chǎng)的新計(jì)劃等被實(shí)施，在世界半導(dǎo)體量產(chǎn)工廠(chǎng)的行列里，中國(guó)正扎實(shí)地繼續(xù)構(gòu)筑著自己的地位。
　　受此影響，2004年愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，在中國(guó)的新裝機(jī)和移機(jī)數(shù)達(dá)到了近300臺(tái)，目前在綜合安裝臺(tái)數(shù)上，取得了中國(guó)第一的成績(jī)。特別是2004年由于相當(dāng)多的設(shè)備從海外移到中國(guó)內(nèi)地，對(duì)二手設(shè)備的服務(wù)內(nèi)容也亟須充實(shí)。2004年愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試面對(duì)大量的被引入到中國(guó)的設(shè)備，以系統(tǒng)的維護(hù)、增強(qiáng)售后服務(wù)為第一目標(biāo)，招募了大批軟硬件工程師，增加了維修零件的庫(kù)存，增設(shè)了提供支持服務(wù)的網(wǎng)點(diǎn)。目前愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試在中國(guó)的服務(wù)體系和質(zhì)量與其他海外分公司相比毫不遜色，這是提供中國(guó)第一的支持服務(wù)的強(qiáng)大基礎(chǔ)。
　　另一方面，純粹的中國(guó)內(nèi)地的IC設(shè)計(jì)市場(chǎng)也從2003年度的46億元的規(guī)模，發(fā)展到2004年翻了一番的程度。在此之前低端芯片是主流，但2004年從中端到高端的芯片也得到推廣，一部分正在實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化。針對(duì)中國(guó)的IC設(shè)計(jì)公司，2004年愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試，在各地半導(dǎo)體協(xié)會(huì)的幫助下，特別是通過(guò)召開(kāi)以SOC測(cè)試技術(shù)為主的研討會(huì)，在測(cè)試程序的作成、設(shè)計(jì)評(píng)價(jià)、量產(chǎn)芯片評(píng)價(jià)等方面，為IC設(shè)計(jì)公司提供支持，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展作出了努力。
　　2005年，縱觀世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，前半期會(huì)繼續(xù)上一年度后半期以來(lái)的低迷情況，在中國(guó)也會(huì)受到設(shè)備投資削減的影響，但與其他地方相比，預(yù)計(jì)仍然會(huì)繼續(xù)增長(zhǎng)。IDM各廠(chǎng)商的新工廠(chǎng)開(kāi)工和計(jì)劃落實(shí)，新Foundry工程的計(jì)劃和Assembly&Test工廠(chǎng)的運(yùn)作，增產(chǎn)、新項(xiàng)目開(kāi)發(fā)等舉措在中國(guó)各地都會(huì)陸續(xù)得到推進(jìn)。愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試將進(jìn)一步提高工程師的水平，增加程序開(kāi)發(fā)力量，在更多的城市建立起新的支持網(wǎng)點(diǎn)，構(gòu)筑更強(qiáng)大穩(wěn)固的支持，組織方面投入更大的力量。同時(shí)，我們還將在半導(dǎo)體設(shè)備所使用的軟件、應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)方面，研究如何有效利用中國(guó)的資源，加強(qiáng)與企業(yè)的業(yè)務(wù)合作關(guān)系。
　　另一方面，中國(guó)設(shè)計(jì)市場(chǎng)，如數(shù)字電視以及對(duì)應(yīng)于3G的通信設(shè)備等中端芯片正在逐漸開(kāi)始實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化。而在此之前，中國(guó)內(nèi)地設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體芯片，使用0.36μm以上工藝技術(shù)的低端產(chǎn)品占了大部分，像MCU那樣在量產(chǎn)上無(wú)需依靠專(zhuān)用半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行出廠(chǎng)檢查的芯片比比皆是。但是最近，在中端以上的芯片設(shè)計(jì)領(lǐng)域，且不說(shuō)設(shè)計(jì)評(píng)價(jià)，就是在量產(chǎn)上，測(cè)試的重要性也得到了大家的認(rèn)同。
　　這次Semicon China，愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試將以"為量產(chǎn)作貢獻(xiàn)"為主題，介紹在業(yè)界50年間在全球量產(chǎn)上作出的成績(jī)以及在中國(guó)設(shè)立上海公司以來(lái)的10年間為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作出貢獻(xiàn)的歷史，展示在全球范圍內(nèi)裝機(jī)數(shù)超過(guò)600臺(tái)的SOC量產(chǎn)機(jī)種T6575(HL系列)并進(jìn)行操作演示。而且，2005年，愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試也計(jì)劃在中國(guó)市場(chǎng)開(kāi)始銷(xiāo)售充實(shí)了模擬功能的低成本測(cè)試設(shè)備T7722。