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激光測(cè)量在數(shù)控機(jī)床定位中的應(yīng)用

http://mamafrist.com 2015年09月19日        

1.測(cè)量隱理


  由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束,經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束,經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測(cè)器接收作為參考訊號(hào),其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直,被干涉鏡接收反射到光電檢測(cè)器上。機(jī)床運(yùn)動(dòng)使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對(duì)位移,兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng),產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測(cè)器接收到的頻率訊號(hào)(f1-f2±Δf)和參考訊號(hào)(f1-f2)被送到測(cè)量顯示器,經(jīng)頻率放大、脈沖計(jì)數(shù),送人數(shù)字總線,最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,得到所測(cè)量的位移量,即可評(píng)定數(shù)控機(jī)床的定位精度。

  2.測(cè)量方法

 ?。?)安裝雙頻激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)各組件。

 ?。?)在需測(cè)量的機(jī)床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測(cè)量裝置。

  (3)調(diào)整激光頭,使雙頻激光干涉儀的光軸與機(jī)床移動(dòng)的軸線晝?cè)谝粭l直線上,即將光路調(diào)準(zhǔn)直。

 ?。?)待激光預(yù)熱后輸入測(cè)量參數(shù)。

 ?。?)按規(guī)定的測(cè)量程序運(yùn)動(dòng)機(jī)床進(jìn)行測(cè)量。

 ?。?)數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。

  3.測(cè)量誤差分析

  用雙頻激光干涉儀檢驗(yàn)數(shù)控機(jī)床定位精度的測(cè)量誤差主要來(lái)源及分析如下:

  3.1雙頻激光干涉儀的極限誤差

  其中L為測(cè)量的長(zhǎng)度(單位:m)

  3.2安裝誤差

  它主要是由測(cè)量軸線與機(jī)床移動(dòng)的軸線不平行而引起的誤差.

  L為測(cè)量的長(zhǎng)度;

  θ為測(cè)量軸線與機(jī)床移動(dòng)的軸線之間的夾角。

  由于光路準(zhǔn)直,θ值趨于0,故此項(xiàng)誤差忽略不計(jì)。

  3.3溫度誤差

  它主要是由機(jī)床溫度和線膨脹系數(shù)不準(zhǔn)備而造成的誤差.

  L為測(cè)量的長(zhǎng)度(單位為m);

  δt為機(jī)床溫度測(cè)量誤差;

  α為機(jī)床材料線膨脹系數(shù);

  δα為線膨脹系數(shù)測(cè)量誤差。

  從上面分析可以看出,在各項(xiàng)測(cè)量誤差中,溫度誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性影響最大,所以,為了保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,測(cè)量環(huán)境溫度應(yīng)滿足20±5℃,且溫度變化應(yīng)小于±0.2℃/h,測(cè)量前應(yīng)使機(jī)床等溫12h以上,同時(shí)要盡量提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確度。另外,如果測(cè)量時(shí)安裝不得當(dāng),由安裝所造成的誤差也是不可忽略的。






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